微機電系統裝置及其製造方法

專利領域別 商學領域/其他-發明專利
專利技術名稱 微機電系統裝置及其製造方法
發明人 黃錦煌
專利字號 I498272
專利國別 中華民國
專利日期 2015-09-01
專利技術摘要 本發明為一種微機電系統裝置,包括一本體、一振膜以及一背板結構。其中該振膜至少包括一第一多晶矽層、一中間層以及一第二多晶矽層,該中間層設置於該第一多晶矽層上,該第二多晶矽層設置於該中間層上。以及,本發明還包括該微機電系統裝置之製造方法。藉此,本發明之振膜能抵抗結構釋放時受到酸液的破壞,且其所形成複合層結構的振膜因應力可互相抵消,所以具有較低的結構應力,且較穩定不容易受到溫濕度的影響及發生破裂及潛變等可靠度問題。
專利內容